概述
EXT75DX /EXT556H復(fù)合渦輪分子泵將經(jīng)實(shí)踐證明的陶瓷機(jī)械下軸承、干式永磁上軸承和Holweck 分級(jí)技術(shù)與帶來額外便利性的板上24V 控制器結(jié)合在了一起，不需要TIC 控制器即可兼容并行和串行通信。
功能和優(yōu)勢(shì)
· 高臨界前級(jí)壓力
· 大容量流速
· 快速抽氣性能
· 多級(jí) Holweck 分子牽引機(jī)制為輕氣體提供了高壓縮量
· 極限真空 <10-10 mbar
· 經(jīng)驗(yàn)證的 EXT 性能和可靠性
· 混合軸承配置
· 免維護(hù) – 儲(chǔ)油器永久密封
· 機(jī)加工整體轉(zhuǎn)子
· 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
技術(shù)參數(shù)
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EXT75DX |
EXT556H |
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入口法蘭 |
DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW 或 DN100ISO-K |
DN160ISO-K/DN160CF |
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抽速（l/s） |
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N2 |
61 |
540 |
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He |
57 |
580 |
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H2 |
53 |
500 |
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壓縮比 |
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N2 |
>1 × 1011 |
>1 × 1010 |
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He |
1 x 106 |
1 x 108 |
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H2 |
5 x 104 |
5 x 106 |
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極限壓力 (mbar) |
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<10-10 |
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帶有 RV 前級(jí)泵 ISO/CF |
<5 x 10-9 / 5 x 10-10 |
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帶有隔膜前級(jí)泵 ISO/CF |
<5 x 10-8 / 5 x 10-9 |
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推薦前級(jí)泵* |
RV5/nXDS5i |
RV12/nXDS10i |
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水冷卻（15 °C 水，40 °C 環(huán)境溫度） |
2 × 10-2 mbar |
2 x 10-3 mbar |
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強(qiáng)制空氣冷卻，35°C 環(huán)境溫度 |
1 × 10-2 mbar |
5 x 10-4 mbar |
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標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 |
90000 rpm |
50000 rpm |
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到 90% 速度的啟動(dòng)時(shí)間 |
110 s ? |
6.5min |
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冷卻方法# |
強(qiáng)制空氣/水 |
強(qiáng)制空氣/水 |
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強(qiáng)制空氣冷卻的環(huán)境空氣溫度 |
5 - 35 °C |
0 °C - 35 °C |
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最小冷卻水流速（15 °C 的水） |
15 l h-1 |
15 l h-1 |
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水溫范圍 |
10 - 20 °C |
10 - 20 °C |
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最高入口法蘭溫度 |
100 °C |
80 °C |
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操作姿態(tài) |
垂直且豎直，直到 |
垂直且豎直， |
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水平 |
直到水平 |
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1 米處的噪音級(jí)別 |
<50 dB(A) |
<60 dB(A) |
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推薦控制器 |
TIC100 分子泵和儀器控制器 |
EXC300 |
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靜止電功率 |
10 W |
35 W |
*以上數(shù)據(jù)僅供參考，如需詳細(xì)資料。請(qǐng)與我們聯(lián)系。
