概述
Edwards STP系列磁懸浮渦輪分子泵 用于電子顯微鏡和半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)一流的性能，最大的制程靈活性。STP301 已經(jīng)由科學(xué)儀器、半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用，并得到了認(rèn)可。
此STP 泵在供貨時帶有入口篩網(wǎng)。
如需完整安裝，請訂購一臺STP 泵、一個控制器、一根連接電纜和一根電源電纜。
應(yīng)用
· 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
· 電子回旋共振(ECR) 刻蝕
· 薄膜沉積CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 濺射
· 離子注入源，射束線泵送端點(diǎn)站
· MBE
· 擴(kuò)散
· 光致抗蝕劑脫模
· 晶體/晶膜生長
· 晶片檢查
· 負(fù)載鎖真空腔
· 科學(xué)儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
· 高能物理：射束線、加速器
· 放射線應(yīng)用：融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
先進(jìn)的轉(zhuǎn)子技術(shù)
· 最大的制程靈活性
· 無油
· 低振動
· 高度可靠
· 免維護(hù)
先進(jìn)的控制器設(shè)計
· 自動調(diào)整
· 自行診斷功能
· 直流電機(jī)驅(qū)動
· 無電池運(yùn)行
緊湊型設(shè)計
· 占地面積小
· 半機(jī)架控制器
技術(shù)參數(shù)
*以上數(shù)據(jù)僅供參考，如需詳細(xì)資料。請與我們聯(lián)系。
