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渦輪分子泵組
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更新時(shí)間:2015-06-09 15:27  瀏覽次數(shù):   文字:【】【】【

概述

T-Station 75 是 Edwards 新推出的入門級渦輪泵系統(tǒng)。它包括我們經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的 EXT75DX,搭配油封的 E2M1.5 前級泵或 XDD1 隔膜泵,適用于需要完全干燥的應(yīng)用。
T-Station 使用新的 TAG(Turbo 和有源真空計(jì))控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配置,可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)通過單按鈕啟動(dòng)/停止、可控制其中一個(gè)有源真空計(jì)*、排氣閥控制*以及在真空計(jì)讀數(shù)匹配時(shí)延時(shí)或降壓啟動(dòng),因此 T-Station 非常適合一般的實(shí)驗(yàn)室需求。
* 真空計(jì)和 TAV5 排氣閥必須單獨(dú)購買。

 

應(yīng)用

· 一般實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用

· 光譜學(xué)

· 表面分析

· 小型鍍膜系統(tǒng)

· 真空渦輪制造

技術(shù)數(shù)據(jù)

N2 抽速

 

NW40

42 ls-1

ISO63/CF63

61 ls-1

N2 壓縮比

>1 x 1011

50Hz 時(shí)的前級泵速度

 

E2M1.5

1.6 m3h-1

XDD1

1.2 m3h-1

極限壓力

<5 x 10-8 mbar

進(jìn)氣口法蘭

NW40、ISO63 或 CF63

排氣口法蘭

 

E2M1.5

11mm OD 噴嘴或 3/8 英寸 BSP

XDD1

裝配消音器或 1/8 英寸 BSP

重量

 

E2M1.5

22 kg / 48 lb

XDD1

18 kg/40 lb

噪音級別

55.4 dB(A)

密封性

<1 x 10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍

10 至 40°C/50 至 104°F


*以上數(shù)據(jù)僅供參考,如需詳細(xì)資料。請與我們聯(lián)系。

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