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概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
 iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

  應(yīng)用

· 負載鎖

· 輸送

· 計量

· 平版印刷

· PVD 制程

· PVD 預(yù)清潔

· RTA

· 剝離/灰化

· 刻蝕

· 植入源

· HDP CVD

· RTP

· SACVD

· MCVD

· PECVD

· LPCVD

· ALD

技術(shù)數(shù)據(jù)

 

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