單級(jí)旋片式真空泵是一種油封式旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵，可以單獨(dú)使用，也可以作高真空的前級(jí)泵，即可以和增壓泵、油擴(kuò)散泵組成機(jī)組。
1、單級(jí)旋片式真空泵結(jié)構(gòu)
作為單級(jí)旋片式真空泵只有一個(gè)工作室，它主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片組成。如下圖所示。轉(zhuǎn)子偏心地置于定子內(nèi)。轉(zhuǎn)子梢中裝有兩塊旋片，兩旋片之間裝有彈簧。依靠彈簧的彈力和泵旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力使旋片緊貼于泵壁。
1.進(jìn)氣管 2.濾網(wǎng) 3.加油螺塞 4.油標(biāo) 5.放油螺塞 6.旋片 7.彈鑄 8.轉(zhuǎn)子 9.氣鎮(zhèn)閥 10.泵體 11.排氣閥 12.排氣管
單級(jí)旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)圖
一般將泵腔分成三部分：從進(jìn)氣竹到旋片分隔的空間稱吸氣(空間，由兩旋片同泵壁分附出的空間稱為膨脹壓縮空間;排氣閥到旋片分隔的空間稱排氣空間。如旋片處于垂充位置時(shí)，則把泵腔分成二部分(即吸氣空間和排氣空間)。但不管旋片處于什么位置，它始終把進(jìn)氣門和排氣口分開(kāi)。排氣閥浸在油里的目的是防止大氣返流進(jìn)入泵內(nèi)。為了防止電源突然停電真空泵油返流入真空容器內(nèi)，在進(jìn)氣口管道上安裝一個(gè)電磁閥，一旦停電，電磁閥隨把通道堵死，開(kāi)泵抽氣時(shí)，電磁閥吸上，通道打開(kāi)。
2、單級(jí)旋片式真空泵工作原理
當(dāng)轉(zhuǎn)子在定子內(nèi)旋轉(zhuǎn)時(shí)，吸氣空間的容積逐漸增大而把被抽空問(wèn)中氣沐吸入吸氣空間。同時(shí)排氣空間的容積逐漸縮小，將前一周期已吸入的氣體壓縮，當(dāng)氣體壓力足夠高，即大于油的重力和閥片彈力之和時(shí)，被抽氣體頂開(kāi)排氣閥，穿過(guò)油層由排氣管排出。
單級(jí)旋片式真空泵的抽氣過(guò)程
旋片式真空泵在工作過(guò)程中的幾個(gè)典型位置：
(1)旋片1處于垂直位置，并與轉(zhuǎn)子和定子問(wèn)的固定切點(diǎn)4重合，吸氣過(guò)程尚未開(kāi)始。
(2)旋片1從A點(diǎn)轉(zhuǎn)過(guò)一定角度，吸氣空間逐漸增大氣體便從被抽空問(wèn)通過(guò)進(jìn)氣口進(jìn)入吸氣空間。
(3)旋片1到達(dá)水平位置，旋片2正好將進(jìn)氣口封死，氣體不再進(jìn)入吸氣空間，吸氣量達(dá)到最大。
(4)旋片繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，被封閉在旋片1、2之間的氣體受到壓縮，壓強(qiáng)不斷升高，當(dāng)壓強(qiáng)超過(guò)一定值時(shí)，氣體便推開(kāi)排氣閥由排氣管排出。
(5)排氣結(jié)束，恢復(fù)到第一個(gè)過(guò)程里，只是I、2兩個(gè)旋片交換了一個(gè)位置。
以后的排氣就按照上面的過(guò)程重復(fù)進(jìn)行。這樣每個(gè)旋片起了二個(gè)作用：使泵腔從進(jìn)氣口吸入氣體，壓縮已吸進(jìn)來(lái)的氣體，使其通討排氣閥排出去。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，旋片1,2各吸入一次氣體和排出一次氣體，因此轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周時(shí)，完成了兩次吸氣過(guò)程和兩次排氣過(guò)程。
單級(jí)泵的真空度相比雙級(jí)旋片式真空泵要差一些，它的殘余氣體分壓強(qiáng)為5x10-1~1Pa，而總壓強(qiáng)(殘余氣體與殘余蒸汽分壓強(qiáng)之和)有5Pa。
